＜支援要素＞

先端技術研究センター

1. 半導体プロセスを駆使したナノ構造形成支援
2. MEMSのマイクロ・ナノ構造製作支援
3. ナノマグネティック・デバイス作製支援

プラズマナノ工学研究センター

1. 先端ナノ・マイクロプラズマ加工プロセッシング支援
2. ナノバイオデバイス開発支援
3. 先進電子顕微鏡法を用いたナノ加工材料評価支援

ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー

1. ナノ構造形成・評価支援

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名古屋大学では、ナノ関連研究センターである「先端技術研究センター」、「プラズマナノ工学研究センター」、「ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー（VBL）」の3つが機関内連携し、世界トップレベルのプラズマ技術を軸とした「超微細加工」と「計測・分析」領域を支援します。

VBLの極めて多彩な評価装置によるナノデバイス構造解析支援に加え、主導的立場にある電子顕微鏡支援を行い、先進的な素子評価に供します。