ナノ構造形成・評価支援
八島栄次教授
担当：岸本茂准教授
kishimoto@vbl.nagoya-u.ac.jp
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走査型電子顕微鏡 SEM4300 空間分解能 1.5nm 1000円/時間 |
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高分解能走査型電子顕微鏡 SEM5200 空間分解能 0.5nm 1000円/時間 |
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走査型プローブ顕微鏡 SPM 観察機能 AFM,DFM,MFM,STM 500円/時間 |
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オージェマイクロプローブ AES エネルギーレンジ 0～3000eV Arミリング付 1000円/時間 |
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ＥＣＲスパッタ成膜装置 酸化膜，窒化膜，アルミナ膜 1000円/時間 |
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電子ビーム蒸着装置 4連ハース 抵抗加熱蒸着装置 500円/時間 |
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フォトリソグラフィ 波長 365nm 500円/時間 |
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分子線エピタキシー装置 Ⅲ－Ⅴ族 セル8基 5000円/日 |
料金は学内の申請者が自ら操作する場合の金額です。
その取扱については別途協議します。
その他の装置利用につきましても、ご相談下さい。