先端ナノ・マイクロプラズマ加工プロセッシング支援
ナノバイオデバイス開発支援
先進電子顕微鏡法を用いたナノ加工材料評価支援
堀勝教授
hori＠nuee.nagoya-u.ac.jp
052-789-4420
ナノ・マイクロ加工を必要とするSiULSI、MEMS、化合物半導体、バイオ
チップをはじめ種々のプラズマ加工プロセス。レーザー直描装置、２周
波励起プラズマエッチング装置、大気圧プラズマ加工装置。
丹司敬義教授
tanji＠nuee.nagoya-u.ac.jp
052-789-4436
高分解能透過電子顕微鏡による原子レベルでの構造解析、電子線
ホログラフィによるナノ電磁界の直接観察、分析電顕による元素マッピ
ング。200kV高分解能透過電子顕微鏡(空間分解能0.15〜0.2nm)、
200kVホログラフィ電子顕微鏡(空間分解能0.3nm以下で電磁界観察
可)、200kV分析透過電子顕微鏡(Ｘ線分光器付)、200kV分析透過電
子顕微鏡(電子エネルギー損失分光器付)、電界放出型走査電子顕
微鏡(空間分解能1.5nm at 15kV、5.0nm at 1kV)。
馬場嘉信教授
babaymtt＠apchem.nagoya-u.ac.jp
052-789-4664
電子線描画装置やプラズマナノ加工技術を用いることによりDNA、
タンパク質や細胞などを操作・解析するためのナノバイオデバイスの
作成を支援。
